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台灣電鏡儀器5日在竹科矽導研發中心盛大開幕。記者李珣瑛/攝影
竹科成為新創產業進駐首選,出自科技部創新創業激勵計劃優勝團隊的台灣電鏡儀器,今(5)日在矽導研發中心盛大開幕,宣布推出新一代的桌上型電子顯微鏡EM200S,已被晶圓代工大廠用次樣品檢測驗證中。

台灣電鏡儀器這款新規格產品,突破過去電子顯微鏡無法觀察含水樣品的限制,領先同時搭載掃描式與穿透式的桌上型電子顯微鏡,能對於精密零件掃描或複雜的化學製程動態過程進行檢測,並大為降低建置奈微米分析設備成本,為產業提供全新的解決方案。

台灣電鏡董事長林俊吉表示,台灣電鏡延伸清華大學電鏡團隊的核心技術,並在工研院創新育成的加持下,漢民科技在半導體設備的開發管理與服務經驗,將在核心規格與創新功能上不斷努力研發,並以液態檢測電鏡領航專家自詡,訂定目標為全球產業提供40奈米以下液體粒子檢出與濕式製程監控的優勢技術,提供最具性價比的小型電子束檢測設備。

工研院協理段家瑞表示,工研院積極推動以科技創新創業來協助產業轉型優化,四年前看到充滿潛力的清大電鏡團隊,看準傳統電子顯微鏡有體積龐大、售價高的缺點,希望能運用自身的關鍵技術勇敢逐夢,投入桌上型電子顯微鏡的產業市場。工研院樂見這樣潛力的創新,將自有的「流體輸送控制」與「光學顯微」技術與其結合以增加其對液態電子束分析上的能量,新創出能在液態下連續檢測以及結合螢光共顯微的嶄新功能,並獲得第十二屆國家新創獎。

此外,透過工研院創新工業技術移轉股份有限公司(ITIC)的挹注,促使這些關鍵技術與潛力的創新能夠真正商品化,完成創業的最後一哩路。衷心的期望台灣電鏡與工研院的合作,能夠成為學術界投入創業的典範,進而為台灣高科技產業注入更多創意新血。

發表的EM200S是第一台搭載掃描式與掃描穿透式雙影像偵測器(SEM/STEM)的桌上型電子顯微鏡,結合特殊的直接液態檢測技術(採用對電子束透明的特殊薄膜,將液體或揮發性軟物質保存於真空中),可同時滿足微米結構掃描量測與奈米粒子穿透分析,一台設備可檢測從塊材、粉體、膠體乃致流體的廣泛樣品類型,體積卻是傳統電子顯微鏡的五分之一,並深具價格優勢,在半導體與電子製程檢測、生技製藥與醫材檢測與化工塗料檢測上皆有廣泛的應用。

這款最新開發的 DirectLiquid 直接液態檢測裝置,具備可調整液體下景深距離的功能,是第一個可實現微奈米金屬蝕刻即時觀測的產品,搭配自主開發的分析軟體,對於面板/電子業的金屬線寬蝕刻或電鍍等精密製程是非常有價值的解決方案。

【2017-10-05╱經濟日報】

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